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True Full-Field Measurement of Thermal Expansion on Electronic
Components
(Q-300 TCT)
电子元器件热膨胀的全场测量系统Q-300 TCT
——用于MEMS细观力学的热应力、应变、变形的
全场非接触式光学测试系统
电子元器件的三维热膨胀和热应变测量
Q-300 TCT用于高灵敏度三维测量材料和元器件的热膨胀和应变分析。
全场三维定量分析
Q-300 TCT已成功用于电子工业中的复杂材料(各向异性)、元器件和结构的开发和测试,它是解析计算和数字计算理想的验证工具。
测量的三维数据可用于快速测定材料的热胀系数和元器件的热应力。例如:印刷电路、BGA、倒装芯片等。
测量是全场的、非接触的,且适合于任何材料,测量面积可调节,甚至低至1mm2。
Q-300 TCT测量系统包括热加载装置、控制和计算单元以及装在可调节支架上的ESPI传感器。
用于热加载研究的全套系统
不同的镜头组用于调节视场大小,测量面积从40×50mm2小至0.7×1mm2,温度变化可自动地从常温升至300ºC。
由于可选择形状测量模块,Q-300 TCT不仅可测平面,也可测量曲面。传感器由电子控制单元操控,该单元装有ISTRA软件包。
测量的每一步采集温度信号。测量可以是自动的或手动操作。获得三维位移的定量分析数据及热应变场。测量精度可达亚微米级,取决于设定的几何尺寸。

Q-300 TCT系统配置
倒装芯片组件(1cm × 1cm)
传感器装在垂直支架上可以快速调节视场大小。
 
BGA 组件的热弯曲及T=110°C时的热应力
左图: 正常的弯曲,右图: 检测出有脱粘的BGA

倒装芯片的热膨胀
左图:粘接良好,右图:有脱粘缺陷,T=100°C
技术指标:
n 位移分辨率: 0.01-0.1 μm 可调。取决于设定的几何尺寸及照明臂种类。
n CCD分辨率: 1392 × 1040 pixels
n 测量范围: 10-100 μm/测量步,改变测量步数可改变测量范围。
n 测量面积: 40 mm × 50 mm 低至 0.7 mm × 1 mm (取决于物镜)
n 工作距离: 可变
n 工作模式: 自动, 手动, 一维, 二维, 三维
n 数据接口: TIFF, ASCII
n 数采速度
: 三维测量时每步2.5 秒
n 数据分析: 自动系列分析或在任意
测量步手动分析
n 传感器尺寸: 80 mm × 130 mm × 120 mm (不包括照明臂)
n 热加载炉尺寸: 200 mm × 200 mm × 70 mm
n 激光器(内置):2 × 50 mW, 785 nm 激光二极管
n 电子控制和计算单元:便携式PC机并集成有电子控制和带定时器的温度控制
n 操作系统: Windows
XP
n 热加载技术数据:最高温度: 300°C. 升温速度: 30°C /分. 功率: 200 W
n 加载模式: 手动或匀速升温,手动或自动测量。
选项:
n 用于可变化视场的不同镜头
n 用于曲面热应变分析的
“形状测量”软件模块
n 光学平台(带气囊、不同台面尺寸)
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