|
该仪器用于检测物体表面的质量与特性(如粗糙度)，它的优点是具有纳米级的高精度分辨率和达到几百微米的测量范围。
该仪器采用白光干涉计模式工作，也可不作任何改动而采用相移方式工作以获得亚纳米级的分辨率。
该仪器以完整的测试系统供货，包括显微镜或在已有的常规显微镜上再加一只显微镜。
技术指标（基于Leica
DMRE）：
白光干涉计方式：
n
测量场（视场）： 136×136(μm2)～ 2.74×2.74(mm2)
n
测点数目：
1024×1024
n
垂直测量范围：
可达500μm
n
垂直分辨率
< 2nm （量程为100μm时）
（全部放大倍数）： <
25nm （量程100 - 500μm时）
n
步高测量精度：
< 25nm (量程100μm时)
< 1 μm (量程100
- 500μm时)
n
垂直扫描速度：
最大2μm/s，典型1μm/s
相移方式：
n
测量场（视场）：
130×130(μm2)
～ 2.10×2.10(mm2)
n
测点数目：
1024×1024
n
最大步级高度： 120nm
n
垂直测量范围：
12μm
n
垂直分辨率：
<1nm（所有放大倍率）
n
测量时间：
<10s
物镜：
n
放大倍数：
5X, 20X, 40X
n
参考面的等级：
λ/20
p-V 平面度
某万向接头表面 显示抛光表面的微观划痕
(高度14μm，20倍放大)
(高度600μm)
软件：
n
表面测量时用于控制、记录和估算的软件 WLI2000
n
三维显示和测量模块 ARGUS
n
计算与显示二维和三维表面品质参数的模块 FRT Mark III
|
